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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "doping".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="陶金靶材"


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    反應式濺鍍製備錫與氮摻雜的銅硫氧化合物薄膜及其性質研究
    • 材料科學與工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 余銘浩 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以實驗室自行壓製陶金靶材,採用RF反應式濺鍍法及利用氮氣混入濺鍍氣體進行製備n型的CuSnSO薄膜與p型的CuSnSNO薄膜,並探討靶材中不同SnS含量比例、沉積溫度及氮元素的摻雜對於薄膜品質…
    • 點閱:146下載:0
    • 全文公開日期 2023/08/01 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    陶金靶材之反應式濺鍍製備氮摻雜氧化銦鎵鋅薄膜及其性質研究
    • 材料科學與工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 黃郁凱 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以本實驗室自行壓製陶金(陶瓷+金屬)靶材,採用RF反應式濺鍍法製備N摻雜的IGZO薄膜,以N取代O的位置,期望提高IGZO薄膜內的氮含量來提升載子遷移率及提升電性穩定性。實驗中,觀察在不同氧氣…
    • 點閱:290下載:5
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